최고 높은 정확도. 다양한 크기, 사용자가 요구하는 패턴 설계 가능.재료: 유리, 석영, 세라믹, 필름, 종이, 금속 재료 등.
유리 보정판 - 포토리소그래피 (photolithography),단일 패턴에 대한 표준 정확도의 물리적 오차는 1μm 이내이며 인접 패턴의 물리적 오차는 ± 1μm입니다.
최고 정확도는 0.5μ까지 가능하며 최대 크기는 1000mm x 1000mm입니다.
세라믹 보정판 - 확산 반사입니다. 반사광이 없습니다. 단일 패턴에 대한 표준 정확도의 물리적 오차는 1μm 이내이며, 인접 패턴의 물리적 오차는 ± 1μm입니다. 최대 크기는 200 x 200mm입니다.
(단위: mm)
Halcan
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CHG-038-3.0 |
Calibrating target size: 38 * 38, Whole pattern size: 25.6 * 25.6,
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CHG-050-4.0 |
Calibrating target size: 50 * 50, Whole pattern size: 34 * 34,
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CHG-076-6.0 |
Calibrating target size: 76 * 76, Whole pattern size: 51 * 51, Dot diameter: 3.0, Center distance: 6.0 |
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CHG-100-8.0 |
Calibrating target size:100 * 100, Whole pattern size: 68 * 68, Dot diameter: 4.0, Center distance: 8.0 |